INTEGRATED GAS SYSTEM>>Κοινή χρήση σειράς προϊόντων IGS
Η VIGOR παρέχει προηγμένα Ολοκληρωμένα Συστήματα Αερίου (IGS) που έχουν σχεδιαστεί ειδικά για τον έλεγχο αερίων υψηλής{0}καθαρότητας στη βιομηχανία κατασκευής ημιαγωγών. Οι λύσεις μας συνδυάζουν την καινοτόμο μηχανική με αυστηρά πρότυπα κατασκευής για να εξασφαλίσουν αξιοπιστία, συμπαγή και ανώτερη απόδοση σε κρίσιμες εφαρμογές.
Χαρακτηριστικά προϊόντος
- Χρησιμοποιείται για έλεγχο αερίου στη βιομηχανία ημιαγωγών
- Αρθρωτό σχέδιο
- Όλα τα εξαρτήματα είναι επιφανειακά τοποθετημένα σύμφωνα με το πρότυπο SEMl
- Το μέγεθος είναι περίπου το 1/3 του παραδοσιακού πάνελ
- Πρότυπο υλικό SEMl, διαδικασία ηλεκτροστίλβωσης και τροχιακή συγκόλληση
- Wseal και C-σφράγιση προαιρετικά
- Διπλή τσάντα σε καθαρό δωμάτιο
- Όλα τα προϊόντα, εκτός από τα "brackets", παράγονται όλα σύμφωνα με την προδιαγραφή διαδικασίας VS001A
Ρυθμιστές πίεσης IGS Σειρά VIR
1. Μέγ. Πίεση λειτουργίας: 150 psig
2. Μέγ. Θερμοκρασία εργασίας: -40 βαθμοί F~140 βαθμοί F (-40 βαθμοί ~ 60 βαθμοί)
3. Πίεση εξόδου: 0~100 psig
4. Το φινίρισμα της επιφάνειας: Max. 5uin. Ra
5. Υλικό: 316L VIM-VAR
6. Έδρα βαλβίδας: PCTFE (PFA/Vespel προαιρετικά)
7. Χωρητικότητα ροής: Cv=0.08
Βαλβίδες διαφράγματος IGS Σειρά VID
1. Μέγ. Πίεση λειτουργίας: 150 psig
2. Μέγ. Θερμοκρασία εργασίας: PCTFE 14 βαθμοί F~176 βαθμοί F (-10 βαθμοί ~ 80 μοίρες); PFA 14 βαθμοί F~302 βαθμοί F (-10 βαθμοί ~ 150 μοίρες)
3. Χωρίς αδιέξοδο σχέδιο
4. Η υγρή επιφάνεια επεξεργάζεται με EP, Max. 5uin. Ra.
5. Υλικό: 316L VIM-VAR
Έγινε δοκιμή 6. 100% ηλίου-διαρροής-
7. Χωρητικότητα ροής: Cv=0.1
Βαλβίδες ελέγχου ροής IGS Σειρά VIM
1. Μέγ. Πίεση λειτουργίας: 150 psig
2. Μέγ. Θερμοκρασία εργασίας: 14 βαθμοί F~302 βαθμοί F (-10 βαθμοί ~ 150 βαθμοί )
3. Σφράγιση: FKM
4. Η υγρή επιφάνεια επεξεργάζεται με EP, Max. 5uin. Ra
5. Χωρητικότητα ροής: Cv=0.03
Βαλβίδες ελέγχου IGS Σειρά VICV
1. Μέγ. Πίεση λειτουργίας: 150 psig
2. Μέγ. Θερμοκρασία εργασίας: 14 βαθμοί F~176 βαθμοί F (-10 βαθμοί ~ 80 βαθμοί )
3. Επιφανειακό φινίρισμα: Max. 5uin. Ra
4. Πίεση ρωγμής: 0,33 psig
5. Χωρητικότητα ροής: Cv=0.2
Υποστρώματα VlB Series (C-seal)
1. Γ-σφραγίδα
2. Μη σταθερή εγκατάσταση για να διασφαλιστεί το αποτέλεσμα στεγανοποίησης
3. Το υγρό μέρος αντιμετωπίζεται με EP
4. Το φινίρισμα επιφάνειας: Max. 5uin.Ra
5. Υλικό: 316L VIM-VAR
Βασική σειρά προϊόντων
- Ρυθμιστές πίεσης IGS (σειρά VIR)
- Βαλβίδες διαφράγματος IGS (σειρά VID)
- Βαλβίδες ελέγχου ροής IGS (Σειρά VIM)
- Βαλβίδες αντεπιστροφής IGS (σειρά VICV)
- Υποστρώματα και βραχίονες IGS (Σειρά VIB)
- Φλάντζες (σειρά VIG)
Γιατί να επιλέξετε το VIGOR IGS;
Τα συστήματά μας αντιπροσωπεύουν μια συνέργεια μηχανικής ακριβείας και πρακτικού σχεδιασμού, παρέχοντας:
- Αποδοτικότητα χώρου: Δραματικά μειωμένο μέγεθος πάνελ.
- Εξαιρετικά-Υψηλή καθαρότητα: Υλικά και διαδικασίες προσαρμοσμένες για εφαρμογές ημιαγωγών-.
- Αρθρωτή ευελιξία: Εύκολο στη διαμόρφωση, επέκταση και συντήρηση.
- Αποδεδειγμένη αξιοπιστία: Αυστηρές δοκιμές και SEMI-τυπική συμμόρφωση.
Στη VIGOUR, προσφέρουμε περισσότερα από εξαρτήματα-παρέχουμε ολοκληρωμένες λύσεις που ζωντανεύουν τις ιδέες σας με σιγουριά και ακρίβεια.
