VIGOR Product Express|Διακόπτης ροής Σειρά VEFS2

Με γνώμονα την τεχνητή νοημοσύνη, τους υπολογιστές υψηλής απόδοσης (HPC), τα ηλεκτρονικά αυτοκινήτων και τις εφαρμογές Διαδικτύου των πραγμάτων, η βιομηχανία ημιαγωγών υφίσταται ταχεία μεταμόρφωση. Αυτή η αξιοσημείωτη ανάπτυξη, ωστόσο, έχει εισαγάγει και νέες λειτουργικές προκλήσεις. Καθώς οι κλίμακες παραγωγής επεκτείνονται με άνευ προηγουμένου ρυθμό, ειδικά αέρια υψηλού κινδύνου όπως το σιλάνιο και η φωσφίνη χρησιμοποιούνται ευρέως στα εργοστάσια ημιαγωγών. Οποιαδήποτε ανεξέλεγκτη διαρροή αερίου που προκαλείται από ρήξη αγωγού, χαλαρά εξαρτήματα, αστοχία στεγανοποίησης ή ακατάλληλη εγκατάσταση μπορεί γρήγορα να κλιμακωθεί σε σοβαρό περιστατικό ασφάλειας, απειλώντας την ασφάλεια του προσωπικού, καταστρέφοντας κρίσιμο εξοπλισμό παραγωγής και προκαλώντας δαπανηρές απρογραμμάτιστες διακοπές λειτουργίας. Σε αυτό το πλαίσιο, ο διακόπτης πλεονάζουσας ροής (EFS) της VIGOUR, με τον καθαρά μηχανικό σχεδιασμό ενεργοποίησης και την εξαιρετική συμβατότητα εξαιρετικά-υψηλής-καθαρότητας (UHP), έχει καταστεί απαραίτητη ασφάλεια ασφαλείας για εξειδικευμένα συστήματα παροχής αερίου, συμπεριλαμβανομένων των Gas Cabinets και των VMBs, στον κόσμο του semiconduction.

Η βασική αρχή σχεδιασμού του VIGOR EFS είναι να ανιχνεύει μη φυσιολογικές συνθήκες ροής και να ανταποκρίνεται αξιόπιστα. Όταν μια αστοχία κατάντη αγωγού έχει ως αποτέλεσμα μια ξαφνική και υπερβολική απότομη αύξηση της ροής που υπερβαίνει το προ{1}}ορισμένο κρίσιμο σημείο διακοπής, η συσκευή ενεργοποιεί αμέσως ένα σήμα απόκρισης. Αυτό το σήμα μεταδίδεται μέσω του ανοίγματος ή του κλεισίματος των ηλεκτρικών επαφών στον ενσωματωμένο- διακόπτη καλαμιού, ο οποίος στη συνέχεια συγχρονίζεται και αποστέλλεται στο σύστημα SCADA ή στο σύστημα παρακολούθησης αερίου (GMS). Παρέχοντας ειδοποιήσεις σε πραγματικό χρόνο και επιτρέποντας γρήγορες αυτοματοποιημένες αποκρίσεις, υποστηρίζει την προληπτική διαχείριση της ασφάλειας, μετριάζει αποτελεσματικά πιθανούς κινδύνους και ενισχύει τη συνολική αξιοπιστία του δικτύου παροχής αερίου.

Στις διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, κάθε στοιχείο στο σύστημα αερίου μπορεί να γίνει πιθανή πηγή μόλυνσης. Ακόμη και τα μικροσκοπικά σωματίδια, οι μεταλλικές ακαθαρσίες ή η επιφανειακή προσρόφηση μπορούν να θέσουν σε κίνδυνο την ποιότητα του πλακιδίου και να μειώσουν τις αποδόσεις παραγωγής. Ως εκ τούτου, το VIGOR τηρεί αυστηρά τα αυστηρά πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών για να διασφαλίσει την καθαρότητα του υλικού, την καθαριότητα της επιφάνειας και τη λειτουργική σταθερότητα.

Όσον αφορά τα πρότυπα υλικών, το VIGOR χρησιμοποιεί αποκλειστικά ανοξείδωτο χάλυβα 316L που παράγεται μέσω τεχνολογίας διπλής-τήξης VIM/VAR. Αυτή η προηγμένη μεταλλουργική διαδικασία μειώνει σημαντικά τα μεταλλικά εγκλείσματα και τις υπολειμματικές ακαθαρσίες, εξασφαλίζοντας εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο μόλυνσης αερίων. Για την επιφανειακή επεξεργασία, όλα τα προϊόντα υποβάλλονται σε προηγμένη ηλεκτροστίλβωση (EP), διατηρώντας μια εσωτερική τραχύτητα επιφάνειας 5–10 μin. Ένα τέτοιο λείο, καθαρό εσωτερικό εμποδίζει τα μόρια αερίου να προσροφηθούν στα εσωτερικά τοιχώματα και εξαλείφει την καθίζηση των σωματιδίων, υποστηρίζοντας σταθερή και δωρεάν παροχή αερίου{7}}.

Επιπλέον, το VIGOR EFS προσφέρει μια μεγάλη ποικιλία από κρίσιμα σημεία ταξιδιού και ευέλικτες επιλογές διαμόρφωσης για να ταιριάζουν σε διαφορετικά σενάρια εφαρμογών. Μέσω της απλής αντιστοίχισης παραμέτρων, οι χρήστες μπορούν εύκολα να προσδιορίσουν το ακριβές μοντέλο με βάση συγκεκριμένους τύπους αερίων, συνθήκες πίεσης λειτουργίας και μέγιστους επιτρεπόμενους ρυθμούς ροής. Αυτός ο υψηλός βαθμός προσαρμογής εξασφαλίζει ακριβή και αξιόπιστη-προστασία έναντι ροής για διάφορες εφαρμογές αερίου εξαιρετικά-υψηλής-καθαρότητας στη σύγχρονη κατασκευή ημιαγωγών.

  Διακόπτης ροής για εφαρμογές υψηλής ροής

 Διατίθεται με οριζόντια ή κάθετη κύρια γραμμή

 Ελάχιστη πτώση πίεσης μέσω της συσκευής

 SS 316L από ανοξείδωτο χάλυβα